Physikalische Dampfabscheidung (PVD)

Bei dem von uns praktizierten Lichtbogenverdampfen (engl. Arc Evaporation) werden auf einem in die Kammerwand eingelagertem Spendermaterial (Titan, Chrom, Legierungen aus Aluminium, Titan, Chrom, Si...) Lichtbögen erzeugt.

Hierdurch wird das Spendermaterial explosionsartig verdampft, hochgradig ionisiert und durch eine Vorspannung (BIAS) auf die Substrate beschleunigt. Zusätzlich werden Reaktiongase wie Stickstoff-, Sauerstoff- Kohlenstoff- und Bor- haltige Gase in die Kammer eingeleitet.

Die im Plasma zerlegten Reaktivgase verbinden sich auf der Substratoberfläche mit den schichtbildenden Metallen. Typische Verbindungen sind TiN, TiCN, CrN, AlTi(Si)N, AlCr(Si)N und ChromOx.